詞條
詞條說(shuō)明
等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于LED、LCD、LCM、手機(jī)配件、外殼、光學(xué)元件、光學(xué)鏡頭、電子芯片、集成電路、硬件、精密部件、塑料制品、生物材料、醫(yī)療器械、晶圓等表面進(jìn)行清洗活化處理。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子
等離子清洗機(jī)是適用于晶圓級(jí)和3D封裝應(yīng)用的表面處理設(shè)備。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、介電質(zhì)刻蝕、晶圓凸點(diǎn)、有機(jī)污染去除、晶圓減壓等。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner)又稱等離子體清洗機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機(jī),等離子表面處理機(jī),電漿清洗機(jī),plasma清洗機(jī),等離子去膠機(jī),等離子清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)/等離子處理機(jī)/等離子處
等離子清洗機(jī)能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物,使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無(wú)法用濕式法清洗,只能通過(guò)等離子清洗機(jī)進(jìn)行去除,晶圓級(jí)封裝前等離子清洗機(jī)處理的目的是去除表面的無(wú)機(jī)物,還原氧化層,增加銅表面的粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)
戈德?tīng)柕入x子刻蝕機(jī)在PCB線路板行業(yè)去膠渣制程的應(yīng)用
?等離子體又叫做電漿,是由有些電子被掠奪后的原子及原子被電離后發(fā)生的正負(fù)電子構(gòu)成的離子化氣體狀物質(zhì),也有稱其為物質(zhì)的第四相態(tài)。等離子體相態(tài)是因?yàn)樵又屑せ碾娮雍头肿訜o(wú)序運(yùn)動(dòng)的狀況,所以具有適當(dāng)高的能量。 (1)PCB多層板等離子刻蝕機(jī)-機(jī)理: 在真空室內(nèi)部的氣體分子里施加能量(如電能),由加快電子的抵觸,使分子、原子的最外層電子被激化,并生成離子,或反響性高的自由基。 如此發(fā)生之離子、
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