詞條
詞條說明
等離子清洗機利用等離子高能粒子與材料表面發(fā)生物理和化學反應(yīng),可以實現(xiàn)對材料表面進行激活、蝕刻、除污等工藝處理,以及對材料的摩擦因數(shù)、粘合和親水等各種表面性能進行改良的目的。等離子清洗機是一種超潔凈領(lǐng)域的處理設(shè)備,主要清洗很微小的氧化物和污染物.增強附著力等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。
等離子體清洗機的表面處理技術(shù)是利用等離子體實現(xiàn)常規(guī)清洗方法所不能達到的。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也稱為物質(zhì)的四態(tài),與一般的固體氣體三態(tài)不同。向氣體施加足夠的能量,使其離化,即為等離子態(tài)。其“活性”成分包括:離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對試樣表面進行處理,達到清潔、涂覆等目的。工件表面經(jīng)化學或物理處理后,可在分子水平上去除污染物,從而提高工件表面活性。在微電子技
等離子清洗機用于清洗晶元(Wafer),去除表面光刻膠。具有高度的均勻性,穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機在處理晶圓表面光刻膠時,等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機物,也可以通過等離子活化和粗化作用,對晶圓表面進行處理,能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學方法,等離子體清洗機干式處理的可控性強,一致性好,并且對基體沒有損害。等離子清洗機有幾種稱謂,英文叫(Plasma Cleaner
在微電子封裝領(lǐng)域中,經(jīng)常會出現(xiàn)手印、污漬、灰塵、自然氧化等缺陷,在生產(chǎn)后期會產(chǎn)生各種污漬。采用等離子清洗機可有效去除可能表面的污染物。等離子清洗機應(yīng)用于電子行業(yè)的手機殼印刷、涂覆、點膠等前處理,手機屏幕的表面處理;連接器表面清洗;通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
電 話: 0535 -8236617
手 機: 13573547231
微 信: 13573547231
地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
郵 編:
網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com
公司名: 煙臺金鷹科技有限公司
聯(lián)系人: 劉曉玲
手 機: 13573547231
電 話: 0535 -8236617
地 址: 山東煙臺招遠市山東招遠高新開發(fā)區(qū)招金路518號
郵 編:
網(wǎng) 址: ytjykj.cn.b2b168.com