磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)

時(shí)間：2023-04-13作者：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司瀏覽：88

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  1. 自我診斷技術(shù)自我診斷技術(shù)是在不停機(jī)或基本不拆機(jī)的情況下，通過(guò)各種檢測(cè)分析來(lái)判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常，異?；蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預(yù)測(cè)。自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息，即根據(jù)設(shè)備在各種工況下，表現(xiàn)出來(lái)的精度**差，零點(diǎn)漂移，內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來(lái)識(shí)別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴(yán)重程度，其本質(zhì)是一個(gè)包含信號(hào)、信息提取、信息綜合、故障識(shí)別和信息利用的過(guò)程。自我診斷的目

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  磁控濺射技術(shù)原理及應(yīng)用簡(jiǎn)介一、磁控濺射原理磁控濺射是一種常用的物相沉積（PVD）的方法，具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好，成分接近靶材成分等眾多優(yōu)點(diǎn)。傳統(tǒng)的濺射技術(shù)的工作原理是：在高真空的條件下，入射離子（Ar+）在電場(chǎng)的作用下轟擊靶材，使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動(dòng)能脫離靶材表面，沉積在基片表面形成薄膜。但是，電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用，產(chǎn)生漂移，因而導(dǎo)致傳濺射效率低，電

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