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壓電陶瓷電機如何運作壓電陶瓷中的壓電效應將電場轉化為機械應變。在特殊的電激勵驅動和壓電陶瓷電機的陶瓷幾何結構下,以較近的頻率接近激發(fā)縱向和橫向彎曲振蕩模式??v向延伸模式和橫向彎曲模式的同時激勵產生了陶瓷邊緣的小橢圓軌跡,從而實現了雙模駐波電機。通過將陶瓷邊緣耦合到精密工作臺上,將一個合力的驅動力施加在工作臺上,導致工作臺移動。在頻率遠高于平臺的機械共振的頻率上,驅動力的周期性特性允許在無限行程中連
由Nanomotion設計和制造的太空等級3軸系統,可在低軌衛(wèi)星上工作
由Nanomotion設計和制造的太空等級3軸系統,可在低軌衛(wèi)星上工作。工作三年,實現1.5億次周期性動作,可在真空、輻射和數千次溫度升降變化的環(huán)境中工作。
nanomotion用于半導體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm,編碼器分辨率為0.1nm,定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達到1nm。
Brooks自動化股份有限公司案例—— Brooks自動化和Galil團隊成功提高了晶圓產量
Brooks自動化股份有限公司案例——Brooks自動化和Galil團隊成功提高了晶圓產量在競爭激烈且要求嚴格的硅晶圓生產領域,產量、精度和可靠性至關重要。日益提高的性能規(guī)格、縮短上市時間和降低成本等相互沖突的要求在不斷擠壓半導體設備制造商的生存空間。因此,大多數半導體設備制造商在設計他們的系統時都指定使用Brooks自動化股份有限公司制造的機器人。反過來說,這也正是Brooks選擇了Galil運
公司名: 上海銳放自控技術有限公司
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