Brooks自動化股份有限公司案例—— Brooks自動化和Galil團(tuán)隊(duì)成功提高了晶圓產(chǎn)量

時間：2022-09-16作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：325

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  詞條說明

• 意大利givi光柵尺主尺安裝（givi磁柵尺）

  光柵尺位移傳感器主尺安裝將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺安裝面上，但不要上緊，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時，把M2螺釘徹底上緊。在安裝光柵主尺時，應(yīng)注意如下三點(diǎn)：(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭，尚需在

• 運(yùn)動控制器的優(yōu)點(diǎn)

  運(yùn)動控制器的優(yōu)點(diǎn)：（1）硬件組成簡單，把運(yùn)動控制器插入PC總線，連接信號線就可組成系統(tǒng)；（2）可以使用PC機(jī)已經(jīng)具有的豐富軟件進(jìn)行開發(fā)；（3）運(yùn)動控制軟件的代碼通用性和可移植性較好；（4）可以進(jìn)行開發(fā)工作的工程人員較多，不需要太多培訓(xùn)工作，就可以進(jìn)行開發(fā)。

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  壓電陶瓷電機(jī)如何運(yùn)作壓電陶瓷中的壓電效應(yīng)將電場轉(zhuǎn)化為機(jī)械應(yīng)變。在特殊的電激勵驅(qū)動和壓電陶瓷電機(jī)的陶瓷幾何結(jié)構(gòu)下，以較近的頻率接近激發(fā)縱向和橫向彎曲振蕩模式?？v向延伸模式和橫向彎曲模式的同時激勵產(chǎn)生了陶瓷邊緣的小橢圓軌跡，從而實(shí)現(xiàn)了雙模駐波電機(jī)。通過將陶瓷邊緣耦合到精密工作臺上，將一個合力的驅(qū)動力施加在工作臺上，導(dǎo)致工作臺移動。在頻率遠(yuǎn)高于平臺的機(jī)械共振的頻率上，驅(qū)動力的周期性特性允許在無限行程中連

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  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。