高純氫在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用

時(shí)間：2025-03-04

作者：常州泳鑫氣體有限公司

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詞條
詞條說(shuō)明
半導(dǎo)體制造用高純氦氣
氦氣在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體純度有著近乎苛刻的要求，其中氦氣憑借其*特的物理性質(zhì)成為**的關(guān)鍵材料。高純氦氣在晶圓制造過(guò)程中主要應(yīng)用于三個(gè)重要環(huán)節(jié)：光刻、蝕刻和沉積。這些工藝直接決定著芯片的性能和良率。在光刻環(huán)節(jié)，氦氣的導(dǎo)熱性能發(fā)揮了重要作用。光刻機(jī)在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量熱量，氦氣能快速帶走這些熱量，確保設(shè)備溫度穩(wěn)定。這種穩(wěn)定性直接關(guān)系到光刻圖案的精確度，任何微小的溫度波動(dòng)都可能導(dǎo)
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