真空3軸圓柱坐標(biāo)型_晶圓搬送機(jī)械

時(shí)間：2021-11-16作者：上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司瀏覽：143

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• 小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

  小徑晶圓用_3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)： 超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SSCR3090S系列 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸， 有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：90mm 同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機(jī)械手臂 全軸使用2相步進(jìn)電機(jī) 晶圓固定方

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  okamoto減薄機(jī)GNX200B_日本岡本代理 okamoto減薄機(jī)GNX200B特點(diǎn)： ·GNX200B擁有BG研磨專利技術(shù)。 ·日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng) ·主軸機(jī)械精度可調(diào) ·岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化，精度持久 ·潤滑系統(tǒng)有完善防護(hù)，避免異物進(jìn)入造成磨損 ·適用晶圓尺寸：6”、8” 、12” MAX晶圓厚度： 1000μm。 ·可切換全自動(dòng)、半自動(dòng)操作模式

• 【晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂】帶有防水結(jié)構(gòu),能快速搬運(yùn)晶圓

  【晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂】帶有防水結(jié)構(gòu),能快速搬運(yùn)晶圓 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SWCR3000系列 在保護(hù)等級(jí)IP64 LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈 零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條 Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用2相

• 3軸機(jī)械臂_全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送

  3軸機(jī)械臂_全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送 采用AC伺服電機(jī)的3軸機(jī)械臂特點(diǎn)： 超潔凈無塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn) 全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 200mm 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動(dòng)作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并