詞條
詞條說(shuō)明
半導(dǎo)體制造行業(yè)廢氣處理工藝半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。揮發(fā)性**廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序,在這些工序中要用**溶液(如異丙醇)對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗,其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是**廢氣的來(lái)源之一;同時(shí),在光刻、刻蝕等過(guò)程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的**溶劑,如醋酸丁酯等,在晶片處理過(guò)程中也要揮發(fā)到大氣中,是**廢氣產(chǎn)生的又一來(lái)源。 與半導(dǎo)體制造工藝相比,半導(dǎo)體
新余鋰電池生產(chǎn)車(chē)間廢氣治理 一、鋰電池工廠(chǎng)外排揮發(fā)性**化合物(VOC)廢氣處理的控制技術(shù)包括燃燒法、光催化法、活性碳吸附法、吸收法、冷凝法、生物法等。 二、活性碳吸附適用范圍為200~1000mg/m3,且進(jìn)氣粉塵濃度需在50mg/m3以下,以上時(shí)控制設(shè)備方足具高處理效率;而冷凝回收法在5,000ppm 以上方有良好的去除效率,一般常應(yīng)用在溶劑回收上,但設(shè)備投資高昂;至于吸收法的適用范圍雖為25
定型機(jī)排放的廢氣,是高溫的,含大量的纖維、粉塵、聚本類(lèi)**物、染料及助劑的殘留揮發(fā)物,常帶有刺激難嗅的氣味。不能用單一的方法來(lái)去除,需要用多種方法綜合凈化處理。1. 定型機(jī)廢氣的降溫定型機(jī)排放的廢氣是高溫的廢氣,達(dá)到170℃,體積大,而工業(yè)用高壓靜電除油煙裝置的較佳工況是60-70℃,如直接將定型機(jī)的高溫廢氣送到靜電除油煙裝置進(jìn)行凈化處理,效果非常不理想,且易造成除油煙器中的蜂巢電極的損壞。對(duì)于定
惠州廢氣處理公司**廢氣處理方法及優(yōu)缺點(diǎn): (1)熱力燃燒法:適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體,凈化效率高,**廢氣被徹底氧化分解,缺點(diǎn):設(shè)備易腐蝕,處理成本高,易形成二次污染在高溫下**廢氣與燃料氣充分混和,實(shí)現(xiàn)完全燃燒。 (2)催化燃燒法:催化燃燒法在催化劑的作用下,使**廢氣中的碳?xì)浠衔镌跍囟容^低的條件下*氧化成水和二氧化碳,達(dá)到治理的目的。缺點(diǎn):催化劑易中毒,投入成本高; (3)
公司名: 東莞市永綠環(huán)保工程有限公司
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