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設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)(PAL)來保證房間溫度
設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)(PAL)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi),接風(fēng)管,采用方形散流器**送風(fēng)方式;室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求,風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器(大氣塵計數(shù)效率:≥60%,對于≥1μm粒子)。 3 磨片檢查室有溫度和濕度控制要求,設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)(PAL)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi),接風(fēng)管,采用方形散
潔凈室分為生物潔凈室和非生物潔凈室兩種。生物潔凈室空氣凈化系統(tǒng)必須連續(xù)運轉(zhuǎn);非生物潔凈室使用前空氣凈化系統(tǒng)應(yīng)提前4小時開啟。檢測塵埃粒子用塵埃粒子計數(shù)器,在環(huán)境衛(wèi)生清潔后緩沖0.5~1小時之后進(jìn)行,為避免人為造成的污染,靜態(tài)測試時潔凈室內(nèi)**兩人。生產(chǎn)過程中應(yīng)對關(guān)鍵控制點進(jìn)行動態(tài)監(jiān)控。微生物含量的控制??刂茲崈羰噎h(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設(shè)施,其過濾效率可以達(dá)到99.9%~99
TS型裝置式潔凈室是一種利用空氣單向氣流(水平平行流)進(jìn)行層流過濾,并經(jīng)多級凈化,再由送風(fēng)單元將凈化后空氣送至工作區(qū),如此反復(fù)循環(huán)工作的高潔凈度潔凈室。TS潔凈室還配備TSFL型風(fēng)淋室一臺,風(fēng)淋室安裝在潔凈室的入口處,操作人員進(jìn)入潔凈室工作必須先經(jīng)過風(fēng)淋室風(fēng)淋。風(fēng)淋時將污染的空氣通過中、空氣過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣經(jīng)噴口以高速旋轉(zhuǎn)切線方向吹向人體各部位,將附著在工作服上的灰塵吹掉。 該潔凈室
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1
公司名: 山東星月凈化工程有限公司
聯(lián)系人: 姜經(jīng)理
電 話: 0539-7089836
手 機(jī): 15610686659
微 信: 15610686659
地 址: 山東臨沂羅莊區(qū)臨沂市羅莊區(qū)中國**工業(yè)用品采購中心
郵 編: 276000
網(wǎng) 址: 5bc2b92035.cn.b2b168.com
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