潔凈室懸浮分子污染

時(shí)間：2016-06-04作者：廣東易兆凈化工程有限公司瀏覽：83

廣東易兆凈化工程有限公司專(zhuān)注于凈化工程,無(wú)塵車(chē)間,通風(fēng)管道工程,降溫除濕工程,空氣過(guò)濾器,中央空調(diào)安裝工程等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 無(wú)塵車(chē)間等級(jí)

  無(wú)塵車(chē)間等級(jí) 常規(guī)的有10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)、300000級(jí)。 1級(jí)：這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。 10級(jí)：這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。100級(jí)：很多人認(rèn)為，這一級(jí)無(wú)塵車(chē)間是較常用因而是較重要的無(wú)塵車(chē)間，人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱(chēng)為無(wú)菌室，以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求，

• 實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)櫥的主要作用與主要優(yōu)勢(shì)？

  實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)櫥的主要作用與主要優(yōu)勢(shì)？ 在實(shí)驗(yàn)室中做實(shí)驗(yàn)是經(jīng)常會(huì)用到的一類(lèi)設(shè)備是通風(fēng)櫥，根據(jù)材質(zhì)的不同，有木質(zhì)的和全鋼的， 但是主要的用途是相同的，但是，由于所使用的材質(zhì)的差異，它們所具有的優(yōu)勢(shì)是不同的。 具體有哪些作用和優(yōu)勢(shì)呢？ 主要的作用：該設(shè)備主要是用于實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)時(shí)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室所產(chǎn)生的各種氣體進(jìn)行一個(gè)排排出的處理作用， 例如，實(shí)驗(yàn)室所產(chǎn)生的有害的氣體、臭氣以及具有腐蝕性等物質(zhì)。 這樣能夠起到一個(gè)避

• 潔凈無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度?

  潔凈無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度? ? ? 無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下， 可以選擇應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高， 必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中， 作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。 直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。24

• 潔凈室懸浮分子污染

  懸浮分子污染（AMC） 4.1AMC的分類(lèi)及控制要求情況 AMC作為IC工廠(chǎng)所關(guān)心的問(wèn)題于20年前較先由日本人提出，近年來(lái)，IC生產(chǎn)園片直徑已達(dá)φ300mm，工藝加工尺寸（線(xiàn)寬）已小于0.15μm，在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環(huán)境中AMC已成為嚴(yán)重影響成品率的問(wèn)題，已被清楚的認(rèn)識(shí)到，因此，AMC的控制已由談?wù)撧D(zhuǎn)到需要實(shí)施。 對(duì)于IC生產(chǎn)，AMC分為A、B、C、D四類(lèi)，即： A——酸性物質(zhì)