用于較紫外光EUV，集成選擇性帶通薄膜濾波片的硅光電二極管

時(shí)間：2023-04-21作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：142

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 64臺(tái)階螺旋相位板的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)

  ? 深圳維爾克斯專業(yè)代理渦旋透鏡，其使用特點(diǎn)就是將高斯激光束能量分布輪廓轉(zhuǎn)換為環(huán)形光束輪廓的能量分布或收集的光學(xué)渦流的能量分布，而影響環(huán)形光束能量分布質(zhì)量的主要因素就是渦旋透鏡表面微結(jié)構(gòu)的臺(tái)階數(shù)，以及拓?fù)浜蓴?shù)，輸入激光的波長(zhǎng)。隨著渦流透鏡所產(chǎn)生獨(dú)特的光束能量分布的發(fā)現(xiàn)，螺旋相位片的應(yīng)用場(chǎng)景也隨著增多，而對(duì)于渦流透鏡的精度要求也隨之增大，螺旋相位板屬于衍射光學(xué)元件，對(duì)于衍射光學(xué)元件來(lái)說(shuō)，

• 反射鏡及鏡面清理操作說(shuō)明

  在光學(xué)相關(guān)的儀器設(shè)備和元件當(dāng)中，經(jīng)常會(huì)遇到各式各樣的反射元件。這些反射器件生產(chǎn)和包裝都是在工廠的潔凈室當(dāng)中完成的。但是，在客戶現(xiàn)場(chǎng)使用或?qū)⒎瓷溏R從包裝取出安裝過(guò)程中，反射元件不可避免的會(huì)沾染上灰塵或者油污。這些灰塵或者油污不僅會(huì)降低反射光線的功率，還會(huì)影響反射光線的傳輸方向。因此，在使用了一段時(shí)間后，反射鏡面清潔和反射鏡灰塵處理就成為了一個(gè)問(wèn)題。反射元件表面的污染比較常見(jiàn)的就是：空氣中的灰塵和絲絮

• 線激光元件被用于晶圓檢測(cè)

  在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問(wèn)題，這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此，檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測(cè)的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場(chǎng)/明場(chǎng)顯微鏡來(lái)檢測(cè)缺陷，通常在深紫外（DUV）波長(zhǎng)下檢測(cè)100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí)，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而

• neoLASE工業(yè)激光系統(tǒng)入圍激光技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)

  neoLASE入圍激光技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)入圍者neoLASE自豪地宣布：我們的激光技術(shù)“短脈沖激光應(yīng)用的無(wú)限靈活性”被提名為2020?年創(chuàng)新獎(jiǎng)激光技術(shù)的?3?名決賽入圍者之一。激光技術(shù)創(chuàng)新獎(jiǎng)是一項(xiàng)歐洲研究和技術(shù)獎(jiǎng)，由?AKL Arbeitskreis Lasertechnik eV?協(xié)會(huì)和歐洲激光研究所?ELI?每?jī)赡觐C發(fā)一次，以表彰激