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定制衍射光學(xué)元件替代無柱面光學(xué)元件進行激光剝離


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  • 詞條

    詞條說明

  • 線激光元件被用于晶圓檢測

    在半導(dǎo)體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題,這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此,檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要,這是在半導(dǎo)體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷,通常在深紫外(DUV)波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時,晶圓旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而

  • SAM鏡在使用時的常見十問

    本文包括BATOP常見問題,可飽和吸收鏡常見問題,SAM鏡在使用時的10個常見問題解答,還包括如何選擇合適PS激光器,摻鐿飛秒激光器,光纖激光器的SAM鏡。?SESAM常見問題:問:粘合可飽和吸收鏡和焊接SAM的主要區(qū)別是什么?焊接的SAM芯片的熱阻低于膠合的。?問:當(dāng)我需要邊緣安裝的SAM時?在折疊光束的情況下,使用聚焦鏡來增加SAM上的功率密度。?問:我可以在10

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