定制衍射光學(xué)元件替代無柱面光學(xué)元件進行激光剝離

時間：2022-08-24作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：275

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• 詞條

  詞條說明

• 線激光元件被用于晶圓檢測

  在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此，檢測半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而

• SAM鏡在使用時的常見十問

  本文包括BATOP常見問題，可飽和吸收鏡常見問題，SAM鏡在使用時的10個常見問題解答，還包括如何選擇合適PS激光器，摻鐿飛秒激光器，光纖激光器的SAM鏡。?SESAM常見問題：問：粘合可飽和吸收鏡和焊接SAM的主要區(qū)別是什么？焊接的SAM芯片的熱阻低于膠合的。?問：當(dāng)我需要邊緣安裝的SAM時？在折疊光束的情況下，使用聚焦鏡來增加SAM上的功率密度。?問：我可以在10

• 關(guān)于設(shè)計、生產(chǎn)及使用的光學(xué)擴散器

  光學(xué)擴散器是一種光學(xué)元件，它可以分散傳入光束的光功率，即擴散光束輪廓的光能，使能量包絡(luò)比原始傳入光束更平滑。有許多類型的光學(xué)擴散器，包括全息光學(xué)元件和完美反射擴散器，但在這篇文章中，我們將重點討論光學(xué)擴散器在高功率激光系統(tǒng)中的應(yīng)用，即衍射擴散器和微透鏡擴散器的應(yīng)用。光學(xué)擴散器設(shè)計衍射光學(xué)擴散器的設(shè)計要考慮到擴散器要產(chǎn)生的理想形狀和強度曲線，以及波長。這些設(shè)計參數(shù)被送入迭代傅里葉變換分析（IFTA）

• Alluxa推出H-alpha系列天文學(xué)深截止濾波片656nm

  Alluxa,Inc.宣布開發(fā)了兩款突破性的氫Alpha(H-alpha)發(fā)射線的窄帶濾波片，可用于天文學(xué)應(yīng)用。雖然這些新型濾光片目前是專門為監(jiān)測天文學(xué)中的H-α光譜而定制的，但它們也可用于其他譜線的辨別，應(yīng)用包括光譜學(xué)、等離子體監(jiān)測、聚變研究等。新型的5腔H-alpha濾光片在方形度方面為窄帶濾波片設(shè)立了新標(biāo)準(zhǔn)。它的50%帶寬僅為0.35nm，1%帶寬<0.6nm，峰值透射率約為80%，并