**SMA電漿等離子清洗機(jī)技術(shù)在晶圓芯片封裝工藝中有哪些應(yīng)用

時(shí)間：2019-01-01作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：1132

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)去除光學(xué)元件有機(jī)污染物

  等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，還可以提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離

• 等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

  等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中的應(yīng)用：等離子體清洗機(jī)具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機(jī)常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強(qiáng)電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),而且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及有機(jī)溶劑等等離子清洗

• 等離子清洗機(jī)處理FPC的工藝

  FPC軟性線路板采用低溫等離子體清洗機(jī)來處理能有效去除孔壁殘膠，達(dá)到清潔、活化及均勻蝕刻的效果，有利于內(nèi)層線路與孔壁鍍并且切不會對基材造成損傷，等離子清洗設(shè)備是目前有效的對表面清洗、活化、涂層的工藝設(shè)備。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離

• 金屬等離子表面處理工藝，等離子清洗機(jī)

  等離子清洗機(jī)是一種中性的、無污染的干式工藝的等離子表面處理設(shè)備，省去了濕法化學(xué)處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝，等離子清洗機(jī)既能清洗基體表面，又能對基體材料進(jìn)行表面改性，改善基材表面能、浸潤性、活化等性能，等離子清洗機(jī)利用等離子體中高能粒子和活性粒子，通過轟擊或活化反應(yīng)作用達(dá)到去除金屬表面污物、灰塵和靜電、金屬表面改性、提高金屬表面的附著力、提高金屬表面抗腐蝕能力、提高金屬的硬度和磨損的