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膜厚監(jiān)控儀


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  • 詞條

    詞條說明

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  • 微納米薄膜設(shè)備有哪些功能

    微納米薄膜設(shè)備主要具有以下幾個功能:薄膜沉積功能:微納米薄膜設(shè)備可以通過物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、濺射等技術(shù),將各種材料沉積在基底表面上,形成薄膜。薄膜厚度控制功能:微納米薄膜設(shè)備可以通過調(diào)節(jié)沉積速率、沉積時間等參數(shù),控制薄膜的厚度,并可以實現(xiàn)納米級別的控制。薄膜成分控制功能:微納米薄膜設(shè)備可以通過控制沉積材料的組成、流量等參數(shù),實現(xiàn)對薄膜成分的控制,從而制備出不同成分的薄膜

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