詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級(jí)旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過(guò)高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會(huì)產(chǎn)生真空,需換葉片。4
旋片式真空泵拆裝步驟:1、先把油放啦、松開(kāi)進(jìn)氣咀法蘭螺釘,拔出進(jìn)氣咀,松開(kāi)氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥2、拆下油箱、拆除止回閥開(kāi)口銷(xiāo),拆下止回閥葉輪。3、拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機(jī)拆否視方便而定。4、松開(kāi)泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級(jí)轉(zhuǎn)子時(shí),應(yīng)先拆下開(kāi)口銷(xiāo)。旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯(lián)軸節(jié)、電機(jī)裝在支座上3、用紗
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個(gè)很大的范圍,至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到佳配置,選擇真空系統(tǒng)時(shí),?應(yīng)考慮下述各點(diǎn):確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的真空度,因?yàn)橄?/p>
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