詞條
詞條說(shuō)明
【國(guó)產(chǎn)吸塑機(jī)真空泵】普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn):?????(1)運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得其大允許壓差值。?????(2)注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升,在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下,泵的高溫升不得過(guò)40℃,高溫度不得過(guò)80℃。如果選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵
真空泵維護(hù)與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。?2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,油箱內(nèi)的存油量不得油標(biāo)中心。?3.不同種類(lèi)和牌號(hào)的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí),應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場(chǎng)地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響真空時(shí),可開(kāi)氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周?chē)鷳?yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
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