詞條
詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵油和潤滑油的區(qū)別:1、真空泵油具有一定的粘度,粘度的高低決定了真空泵的密封性,粘度的過小,密封性則不好;粘度過高,會加大泵內(nèi)葉片與缸體的摩擦力度,潤滑作用就會變差,同時(shí),轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)將會變得困難,電機(jī)的壓力將會變高,油溫也會越來越高。油溫的升高會加速泵油的乳化呈度,真接影響真空度的高低。2、真空泵油的化學(xué)性質(zhì)趨于穩(wěn)定,水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質(zhì)的含量要小的多的多,使用油能效的辟免多次換真空
真空泵維護(hù)與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。?2.泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,油箱內(nèi)的存油量不得油標(biāo)中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí),應(yīng)盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當(dāng),水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)而影響真空時(shí),可開氣
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時(shí),表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時(shí),管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣法蘭
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