詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
葉片安裝方法:1、真空泵葉片的安裝。不論是我司生產(chǎn)的真空泵葉片還是進(jìn)口真空泵葉片,在沒(méi)有技術(shù)人員指導(dǎo)下,自行安裝時(shí)一定要正確,避免真空泵葉片斷裂或在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中安裝不好導(dǎo)致軸承卡死,造成泵體磨損的真空度不足等情況發(fā)生。2、葉片的區(qū)分。市面上的真空泵葉片材質(zhì)有鋁合金、合金鋼、玻璃纖維樹脂、銻樹脂石墨葉片。其功能都是一樣的,但不同材質(zhì)導(dǎo)致的性能又不一樣。(1)使用金屬材質(zhì)的葉片噪音相對(duì)于樹脂葉片和碳片較
【普旭真空泵】真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)
普旭真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn):?????(1)運(yùn)轉(zhuǎn)中必須按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用,在正常情況下,羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下,泵的大壓差不得**其大允許壓差值。?????(2)注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升,在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下,泵的高溫升不得**過(guò)40℃,高溫度不得**過(guò)80℃。如果選用水環(huán)泵作
泵軸軸承位磨損真空泵傳動(dòng)部位磨損是普遍存在的問(wèn)題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無(wú)法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,*剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無(wú)法改變“硬對(duì)硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會(huì)造成再次磨損。當(dāng)代西方國(guó)家針對(duì)以上問(wèn)題多使用高分子復(fù)合
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