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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
真空泵油和潤滑油的區(qū)別:1、真空泵**油具有一定的粘度,粘度的高低決定了真空泵的密封性,粘度的過小,密封性則不好;粘度過高,會(huì)加大泵內(nèi)葉片與缸體的摩擦力度,潤滑作用就會(huì)變差,同時(shí),轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)將會(huì)變得困難,電機(jī)的壓力將會(huì)變高,油溫也會(huì)越來越高。油溫的升高會(huì)加速泵油的乳化呈度,真接影響真空度的高低。2、真空泵**油的化學(xué)性質(zhì)趨于穩(wěn)定,水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質(zhì)的含量要小的多的多,使用**油能效的辟
XD旋片真空泵的安裝操作1、XD型旋片式真空泵的安裝XD型旋片式真空泵應(yīng)水平安放。同于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒有振動(dòng)一般可不固定。XD旋片式真空泵底部減振墊塊上有公制螺孔用以固定泵,不要在地面上推拉泵,以免損壞減振墊塊。為保證XD旋片式真空泵得到良好的冷卻,泵冷卻空氣進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口應(yīng)距周圍物體30cm以上。為便于維修,建議在XD旋片式真空泵進(jìn)氣口和排氣口前留0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。X
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間
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