氣體溫度控制系統(tǒng)在元器件行業(yè)中應用介紹

時間：2023-03-03作者：無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司瀏覽：103

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• 防爆工業(yè)恒溫水循環(huán)機制冷加熱控溫介紹

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• 芯片制造工藝中淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller介紹

  在芯片制造過程中，淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller作為一種關鍵設備，發(fā)揮著一定作用。本文將對芯片制造工藝中的淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller進行詳細介紹。 一、淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller的作用 淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller在芯片制造工藝中主要起到冷卻作用。在芯片制造過程中，各種設備產生的熱量較高，如光刻機、刻蝕機等，如果熱量控制不當，將會影響芯片的制造質量和效率。淺溝道

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