等離子清洗機(jī)在電子行業(yè)的應(yīng)用

時(shí)間：2022-04-14作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：225

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  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)設(shè)備在集成電路和MEMS行業(yè)的應(yīng)用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉(zhuǎn)化的媒介，當(dāng)光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進(jìn)行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體，同時(shí)通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，形成氣體被真空泵抽走 等離子清

• 等離子清洗機(jī)對靜脈輸液器的處理

  輸液器尾端輸液針在應(yīng)用操作過程中，拔出時(shí)針座與針管之間會出現(xiàn)脫落狀況，如果脫落，血液會隨針管流出來，如不盡快正確處理，對患者會導(dǎo)致嚴(yán)重危害。為了保證 這類事故的發(fā)生，對針座進(jìn)行表面處理是十分有必要的。針座孔十分小，一般方式難加工處理，而等離子體是一種離子狀態(tài)的氣體，對微小的孔也能行之有效加工處理。應(yīng)用等離子清洗機(jī)對它進(jìn)行外表面活化加工處理，可改進(jìn)表面活性，提升其與針管的粘接強(qiáng)度，以保證 它們之間不

• 等離子體清洗機(jī)及設(shè)備在干法清洗的優(yōu)勢

  工業(yè)生產(chǎn)中的清洗概念很廣，包括任何與去除污染物有關(guān)的工藝，在不破壞材料表面特性的前提下，有效地清除殘留在材料上的微塵，有機(jī)雜物及金屬離子?，F(xiàn)等離子清洗機(jī)通過對樣品表面進(jìn)行改性（親水性），同時(shí)除掉表面有機(jī)物，使多種材料之間能夠進(jìn)行貼合、涂覆、鍍膜等工藝操作。從研究開發(fā)到工藝生產(chǎn)使用，從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì)效果都非常好，應(yīng)用廣泛。如今應(yīng)用研究于物理化學(xué)清洗的方法，大致分為兩類：干法清洗和濕法清洗

• 等離子清洗機(jī)處理PCB/FPC線路板

  等離子清洗機(jī)廣泛用于清洗、蝕刻、改性、涂層和活化多層軟板的孔壁除殘膠，補(bǔ)強(qiáng)材料如鋼片、鋁片、FR-4等表面清潔活化，激光切割金手指形成的碳化物分解，以及精細(xì)線條制作時(shí)去除干膜殘余物（去除夾膜），都可以通過等離子體清洗機(jī)的表面處理技術(shù)來實(shí)現(xiàn)等離子清洗機(jī)對軟硬結(jié)合板的處理：由于軟硬結(jié)合板是由幾種不同的材料層壓在一起組成，由于其熱膨脹系數(shù)的不一致性，孔壁及層與層之間的線路連接容易產(chǎn)生斷裂和撕裂現(xiàn)象，提高